產(chǎn)品名稱：雅馬拓等離子清洗機V1000/1000X/1000XS

品牌：雅馬拓

產(chǎn)地：中國

型號：V1000/1000X/1000XS





等離子清洗機
V1000/1000X/1000XS
13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP 雙模式。



特點
硅晶圓的灰化及蝕刻。
基板表面污垢處理。
IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。
半導體相關部品的電子材料的干式清洗。
自然氧化膜·有機物去除。
界面活性處理。
表面污染物去除。


技術規(guī)格