產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品名稱:INFICON壓力計(SKY CDG200D)
品牌:美國INFICON
產(chǎn)地:美國
型號:SKY CDG200D
INFICON SKY CDG200D 高溫壓力計是實現(xiàn)精確總壓測量與控制的理想之選。CDG200D 真空計溫度控制在 200 °C,具有卓越的性能,適用于苛刻的半導體和等離子過程。在 1 Torr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內均可使用,帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口,能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的對數(shù)壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜,具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu)勢。INFICON CDG 壓力傳感器品質卓越,極具成本效益,適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。
美國INFICON高溫壓力計(SKY CDG200D) 好處
擁有成本更低,預熱速度快 50%,節(jié)能,低功耗
易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標配兩個設定點
輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令,可調零點偏移
診斷端口便于快速服務與維護
兩年保修服務、加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
卓越的信號穩(wěn)定性和可重復性,即使是**嚴苛的等離子應用,都無需長期執(zhí)行重新校準
合規(guī)和標準:CE、EN、UL、SEMI、RoHS
美國INFICON壓力計(SKY CDG200D) 典型應用
蝕刻、CVD、PVD 及其他半導體生產(chǎn)過程
化學和腐蝕性高溫過程
需要真空計保護的一般薄膜和真空過程