產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品名稱:INFICON壓力計(SKY CDG100D)
品牌:美國INFICON
產(chǎn)地:美國
型號:SKY CDG100D
INFICON SKY CDG100D 壓力計是實現(xiàn)精確總壓測量與控制的理想之選。CDG100D 真空計溫度控制在 100 °C,具有卓越的性能,適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過程。
在 100 mTorr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內(nèi)均可使用,帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口,能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜,具有防腐蝕性。
陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu)勢。INFICON CDG 壓力傳感器品質(zhì)卓越,極具成本效益,適用于苛刻的半導(dǎo)體、等離子和真空應(yīng)用。
美國INFICON壓力計(SKY CDG100D) 好處
擁有成本更低,預(yù)熱速度快 50%,節(jié)能,低功耗
易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標(biāo)配兩個設(shè)定點
輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令,可調(diào)零點偏移
診斷端口便于快速服務(wù)與維護
兩年保修服務(wù),先進的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
卓越的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性,即使是**嚴苛的等離子應(yīng)用,都無需長期執(zhí)行重新校準
合規(guī)和標(biāo)準:CE、EN、UL、SEMI、RoHS
美國INFICON壓力計(SKY CDG100D) 典型應(yīng)用
蝕刻、CVD、PVD 及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過程
化學(xué)和腐蝕性高溫過程
需要真空計保護的一般薄膜和真空過程