產(chǎn)品名稱：INFICON薄膜沉積控制器(GUARDIAN EIES) 
品牌：美國(guó)INFICON
產(chǎn)地：美國(guó)
型號(hào)：GUARDIAN EIES

可同時(shí)沉積至多八種材料

CIGS 薄膜的理想之選

Guardian 可將沉積速度控制在 0.1 到 10,000 Å/s 范圍內(nèi)。它可以操作一個(gè)或兩個(gè)傳感器，**多 8 個(gè)光輸入，并控制**多 8 個(gè)沉積源，因此能夠同時(shí)沉積**多 8 種材料。

INFICON Guardian 是光伏模塊、有機(jī)發(fā)光二極管、光伏、超導(dǎo)薄膜以及分子束外延制造等應(yīng)用的理想之選。

Guardian Codeposition 系統(tǒng)基于電子碰撞發(fā)射光譜 (EIES)。利用 EIES，要沉積的材料在熱離子發(fā)射體的作用下生熱，從而產(chǎn)生光子。產(chǎn)生的光通過(guò)光濾波器達(dá)到光電倍增管 (PMT) 檢測(cè)器，光電倍增管檢測(cè)器可以測(cè)量所通過(guò)波長(zhǎng)的發(fā)射強(qiáng)度。然后，INFICON Guardian 控制器產(chǎn)生信號(hào)來(lái)控制該材料源。配備了合適濾光器的其他檢測(cè)儀可用于多種材料。

一套完整的 Guardian 系統(tǒng)至少包括一個(gè)傳感器、一個(gè) PMT 檢測(cè)儀、一個(gè)濾光器、一個(gè) Guardian 控制器單元以及一臺(tái)安裝了 Guardian 軟件的電腦（由用戶提供）。EIES 通常用于控制多種材料的沉積，因此，大多數(shù) EIES 系統(tǒng)還包括其他傳感器、檢測(cè)器、光學(xué)器件（例如分裂器）以及 QCM，QCM 用于校準(zhǔn)或控制某些材料的沉積速率。

要配置 Guardian 共沉積系統(tǒng)，需要考慮以下幾點(diǎn)
沉積材料的初級(jí)和二級(jí)發(fā)射波長(zhǎng)為多少？

如果不同材料的峰值過(guò)于相近，您可能需要監(jiān)控二級(jí)發(fā)射波長(zhǎng)，二級(jí)波長(zhǎng)的信號(hào)強(qiáng)度較弱。

在沉積過(guò)程中，真空室中存在哪些本底氣體？這些本底氣體的發(fā)射波長(zhǎng)是多少？

如果本底氣體的發(fā)射干擾了沉積材料，則建議使用氣體補(bǔ)償傳感器。

對(duì)于特定發(fā)射光譜的原子種類，EIES **為有效。分子種類產(chǎn)生的發(fā)射光譜不穩(wěn)定或者過(guò)寬，無(wú)法準(zhǔn)確測(cè)量。不建議將 EIES 用于有機(jī)材料。各個(gè)具體應(yīng)用的** EIES 系統(tǒng)配置由以上因素及其他因素確定。

美國(guó)INFICON薄膜沉積控制器(GUARDIAN EIES) 功能

監(jiān)控和控制多達(dá) 8 種材料的同時(shí)沉積過(guò)程
從 0.1 至 10,000 Å/s 的沉積速率
集成式 EIES 和 QCM 薄膜過(guò)程控制
12 個(gè)繼電器輸出和 12 個(gè)數(shù)字輸入
用于設(shè)置與操作的基于 Windows 的軟件
與 INFICON Sentinel® 傳感器兼容